华工一项国家863计划重大项目通过验收

2019-05-04 16:40 来源:未知

11月29日,安徽省科技厅组织专家对安光所承担的省对外科技合作计划项目“用于高端显示平板制造的ELA设备联合研发”进行验收。

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必威体育官网,ELA设备是高端显示技术LTPS TFT- LCD低温多晶硅薄膜制备的关键装备,还将作为主流工艺设备应用于下一代显示技术—AMOLED。安光所在突破多项关键技术的基础上,研制完成用于高端显示制造的准分子激光退火设备原理性样机,实现了大能量、高横纵比、能量分布均匀的准分子激光线光束扫描。首次基于国产设备样机进行了低温多晶硅样品制备,并获得了良好的效果,为该设备的国产化奠定了良好的基础。

专家组听取项目汇报 专家组现场考察  7月1日,国家科技部在广州市开发区主持召开了由华南理工大学承担的“国家863计划新型平板显示重大项目”结题验收会。华南理工大学材料科学与工程学院项目负责人彭俊彪教授汇报了项目的实施情况。国家科技部、广东省科技厅、广州市科技及信息化局、广州开发区科技及信息化局的领导,学校科技处负责人及行业知名专家参加会议。经过严格的财务和技术审查以及实地考察,专家组充分肯定了项目取得的重大成果,一致同意该课题通过验收。  在验收会上,彭俊彪就“基于低温多晶硅TFT基板的有源OLED关键技术研发”项目的基地建设、科研成果、项目完成情况进行了总结汇报。验收专家组在听取汇报后,对项目验收资料进行了审查,并就相关问题进行了质询和探讨,还实地考察了基地建设情况和中试实验室。  专家组一致认为,该课题建设完成了AMOLED技术研发的中试基地,自主研制了用于非晶硅薄膜晶化的半导体激光晶化系统,研究了晶化激光光斑的调制技术,表征了晶化多晶硅薄膜结构,完成了低温多晶硅TFT材料和7英寸基板的结构设计,以及显示屏驱动技术;自主设计了新型的五元素体系新型金属氧化物半导体材料,突破了金属氧化物薄膜制备技术;自主完成TFT器件结构与阵列基板设计,打通了制备金属氧化物TFT阵列的整套工艺,突破了有机发光薄膜与TFT集成技术;自主研发了显示屏驱动技术,研制完成了可图像显示的5~7英寸全彩色AMOLED显示屏,综合技术实力居于国内领先水平。  据悉,该课题是华工联合南开大学和创维集团共同开发的项目,取得的科技成果已经开始在广州新视界光电科技有限公司进行转化,将在2-3年内实现规模量产,广泛应用于智能手机、平板电脑、大尺寸电视等高端显示领域。

专家组由来自中国科学技术大学、国防科学技术大学、合肥工业大学、安徽大学、浙江师范大学的光学专家组成。项目负责人方晓东研究员就“大能量准分子激光”和“线光束整形”等一系列平板显示退火设备关键技术的研究进展、项目执行情况进行了汇报。专家组对项目研究内容及考核指标的完成情况、成果的创新性、国际合作的实施效果、项目经费使用情况等方面进行了综合评审。专家组一致认为项目严格按照任务书要求开展工作,完成了任务书预定的研究内容,各项考核指标达到验收要求,同意通过验收。

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